半導體行業廢氣處理 中使用的清洗劑、顯影（yǐng）劑（jì）、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大（dà）量有機物成分，在工藝過程中，這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放。其廢氣的主體是VOCs，同時廢氣中還混合了HCl、氨、HF等危險（xiǎn）汙染物，分離和處理難度比較大（dà）。

91香蕉视频環境廢氣粉塵治理15年經驗（yàn）

       半導體（tǐ）行業VOCs廢氣處理焚燒爐RTO技術工（gōng）藝原理介紹：

       焚燒爐RTO技術工藝其原理（lǐ）是（shì）有機廢氣經過旋轉分配閥進入蓄熱室預熱，然後進入（rù）氧化室，加熱升溫到800℃以上使有機廢氣氧化分（fèn）解成CO2和H2O；從而淨化（huà）廢（fèi）氣，並回（huí）收廢氣分解時所釋放出來的熱量，廢氣分解效率高達99.5 %，熱利用效率達到95%以上。旋轉式（shì）RTO實現爐體和閥門的相對獨立，同時便於安裝與維護（hù），結構緊湊，占地麵積小。廢氣通過連續運轉的旋轉（zhuǎn）分（fèn）配閥交替（tì）均勻（yún）引入，氣流順暢，出口波（bō）動範圍小，12個蓄熱室交替工作，節約設備能耗。旋轉式RTO是我公司在消化、吸收外技術的基礎上，采取“引進+積累（lèi）+改進+創新”的方式，自主研（yán）發設計的一款有機廢氣治理設備。

       半導體行業廢氣處理焚燒（shāo）爐（lú）RTO設備的優勢：

       1、設有安全泄溫閥，若燃燒室溫＞設置限值，泄溫閥開啟，確保安全溫度（dù）運轉；

       2、整（zhěng）套係統采用PLC全自動化控製技術，節能省力，實現無人控製、自動報警，安全（quán）可靠；

       3、設有泄爆（bào）口，若爐內壓力大幅度提升，泄爆口自動開（kāi）啟，合理泄除壓力，確保正常運轉；

       4、多級安全防護（hù）係統，確保蓄（xù）熱焚燒爐設備係（xì）統安全穩定運行；

       5、壓力波動小，出口濃度（dù）波動小；

       6、占（zhàn）地麵積小（xiǎo）。

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