半導體行業廢氣處理 中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分，在工藝過程中，這些有機（jī）溶劑大部分通過揮發成為廢氣（qì）排放。其廢氣的（de）主體（tǐ）是VOCs，同時（shí）廢氣中還混合了（le）HCl、氨（ān）、HF等（děng）危險汙染物，分離和處（chù）理難度（dù）比較大。

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         半導體行業VOCs廢氣處理焚燒爐RTO技術工藝原理介紹：

         焚（fén）燒（shāo）爐RTO技術工（gōng）藝（yì）其（qí）原理是有機廢氣經過旋轉分配閥進入蓄熱室預熱，然後進入氧化室（shì），加熱升溫（wēn）到800℃以上使有（yǒu）機廢氣氧化分（fèn）解成（chéng）CO2和（hé）H2O；從而淨化廢氣，並回收廢（fèi）氣分解時所釋放出來的熱量，廢氣分解效率高達99.5 %，熱利用效率達到（dào）95%以上。旋轉式RTO實現爐體和閥門的相對（duì）獨立，同時便於安裝與維護，結構緊湊（còu），占地麵積小。廢氣通過連續運轉的旋轉分配閥交替（tì）均勻引入，氣流順暢，出口波動範圍小，12個蓄熱（rè）室交替工作，節約設備（bèi）能耗。旋轉式RTO是我公司在消化、吸收（shōu）外技術的基礎上，采取“引（yǐn）進+積累+改（gǎi）進+創新”的方式，自主研發設計的一款有機廢氣治理設備。

         半導體行業廢氣處理焚燒爐RTO設備的優勢：

         1、設有安全泄溫閥，若燃燒室溫＞設置（zhì）限值，泄溫閥開啟，確保安全溫（wēn）度運轉；

         2、整套係統采用PLC全自動化控製技術（shù），節能省力，實現無人控製、自動報警，安（ān）全可（kě）靠；

         3、設有泄爆口，若爐內壓力大幅度提升，泄爆口自動開啟，合理泄除壓力，確保正（zhèng）常運轉；

         4、多級安全（quán）防護係統，確保蓄熱焚燒爐設備係統安全穩定運行；

         5、壓力波動小，出口濃（nóng）度（dù）波動小（xiǎo）；

         6、占地麵積小。

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