信息摘要:
半導(dǎo)體行業中使(shǐ)用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分。 在工藝過程中,這些有(yǒu)機溶劑大部分通過揮發成(chéng)為廢氣排放。
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>>半導體 廢(fèi)氣成分
半導體煙(yān)氣中主要含有粉塵、二氧化硫、氟化物等(děng)。
(1)二氧(yǎng)化硫和硫(liú)化氫對生命有害,二氧化硫比空氣重2.26倍,是無色臭味具有窒(zhì)息性(xìng)氣體。資(zī)料介紹,長期接觸(chù)濃度為5.23±0.52mg/m3的SO2後,人(rén)體會患類支氣管(guǎn)肺(fèi)炎、肝細胞濁腫、眼角膜炎(yán)病(bìng)變。
(2)氟化物指含負價氟的有(yǒu)機或無機化合物。與其他鹵素類似,氟生成單負陰離子(氟離子F−)。氟可與除(chú)He、Ne和Ar外的所有元素形成二(èr)元化合(hé)物。從致命毒素沙林(lín)到藥品依法韋侖,從難熔的氟化鈣到反應性很強的四氟化硫都屬於氟化物的範疇。
——————————————◆半導體廢氣處理 效(xiào)果標準◆
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>>設計原則
(1)協助企業采用科學合理的收集方式,在達到收集效(xiào)果的前提下,盡(jìn)量減少氣量。
(2)積極穩妥地采用新技術、新設備,結合企業的(de)現狀和管理水(shuǐ)平采(cǎi)用先進、可靠的汙染治理工藝,力求運行穩定、費用低、管理方便(biàn)、維護容易,從而達到徹底消除(chú)廢氣汙染、保護環境的目的。(2015-01-01)
(3)妥善解(jiě)決項目建設及運行過程中產生的汙染物,避免二次汙染。
(4)嚴格執行現行的(de)防火、安全、衛生、環境保護等國家和地方頒布的規(guī)範(fàn)、法規與標準。
(5)選擇新型、高效、低噪設備、注意節能降耗。
(6)總平麵布置力求緊湊、合理通暢、簡潔實用(yòng)。盡量減小工程占地和施(shī)工難(nán)度。
(7)嚴(yán)格執行國家有關設計規範、標準,重視消防、安全工作(zuò)。(GB16297-1996)
(8)依據國家和地方有關(guān)環保法律、法規及產業政策要求對工業汙染進行治理,充分發揮建設項目的社會效益、環境效益和經濟效益。
>>工程範圍及標(biāo)準
1、工程範(fàn)圍
本項煙氣係統的(de)設計範圍為:一整套脫硫係統、一整套除塵係統。
2、技術(shù)要求
(1)本工程不考慮征地,利用原廠用地,不能嚴重影響生產;
(2)采用成熟的廢氣(qì)處理工藝,要求技術安(ān)全(quán)可靠、經濟(jì)合理;
(3)副產品的處理,不應產生二(èr)次汙染;
(4)所有的(de)設備(bèi)和材料是新的(de);
(5)觀察、監視、維修簡(jiǎn)單;
(6)確保人員和設備安全;
(7)節省能源、水和原材料;
(8)排放標準,執行以(yǐ)下(xià)排放要求:二氧化硫濃度<200mg/m3
,氟化物濃度<200mg/m3,粉塵(chén)濃度<50mg/m3並具有可滿足更高(gāo)標準的調節裕量。
>>排放標準(zhǔn)
最終出風(fēng)口廢氣執行超低排放標準,執行如下表(biǎo):
—————————————◆半導體廢氣處理 方案(àn)定製依據◆
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(1)《環境空氣質量標準》(GB3095-1996)
(2)《大氣汙染物綜合排放標準》(GB16297-1996)
(3)《鍋爐大氣汙染物排放標準》(GB13271-2014)
(4)《工業企業廠界噪聲(shēng)標準》(GB12348-90)
(5)《工(gōng)業鍋爐及(jí)窯爐濕法煙(yān)氣脫硫工程技術規範(fàn)》(HJ462-2009)
(6)《設備的安全(quán)通用部分》(GB59591-86)
(7)《設備的電力裝(zhuāng)置(zhì)設計規(guī)範》(GB5056-93)
(8)《設備的基本技術條件(jiàn)》(GB100671-88)
(9)《焊接件通用技術條件》(JB/ZQ4000 3-86)
(10)《大氣環境質(zhì)量標準》(GB3085-82)
(11)《工業企業設計衛生準則》(TJ36-92)
(12)《鋼鐵工(gōng)業廢氣粉(fěn)塵排放標(biāo)準》(GB9078-1996)
(13)《除塵(chén)機(jī)組技術(shù)性能及測試方法》(GBJ1653-89)
(14)《工業“三廢”排放(fàng)試行標準》(GBJ4-83)
(15)《設(shè)備及管道保溫技術通則》(GB4272-92)
(16)業主提供的與本項目有關的資料(liào)
(17)江蘇91香蕉视频環境設(shè)備有(yǒu)限公司治理類似項目廢氣工程取得的經(jīng)驗
———————————————◆半導體廢氣(qì)處理 係統設計◆
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通風係統(風機、收集罩、管道)+核心淨化係統(雙堿脫硫塔+濕式靜電除塵器)+風機(jī)+煙囪
>>流(liú)程簡介
(1)煙氣中含有粉塵、氟(fú)化物、二氧化硫,煙氣進入脫硫塔,雙堿法煙氣脫硫技術是利用氫氧化鈉或碳酸鈉溶液作為啟動脫硫劑,配製好的氫氧(yǎng)化鈉或碳酸鈉溶液(yè)直接打入脫硫塔洗滌脫除煙氣中SO2來達到(dào)煙氣脫(tuō)硫的目的,然後脫硫產物經脫硫劑再生池再生成亞硫酸鈉或氫氧(yǎng)化鈉再打(dǎ)回脫硫塔內循環使用。煙氣中的氟化物溶於水,生成氫氟酸和水,氫氟酸和氫氧化鈣反應生成氟化鈣沉澱和水。
(2)煙氣經過脫硫塔時,噴淋係統同時能捕捉煙氣中的粉塵顆粒物,未被捕捉的粉塵進入濕式靜電(diàn)設備(bèi)中,濕電除塵器的原理(lǐ)是陽極和陰極線之間施加數萬伏直流高壓電(diàn),在強電場的作用下,電暈(yūn)線周圍產(chǎn)生電暈層,電暈層中的空氣發生雪崩式電離,從而產生大(dà)量的負離子和少量(liàng)的正離子,這個過(guò)程叫電暈放電;隨煙氣進入濕式電除塵(chén)裝置內的塵(霧(wù))粒子(zǐ)與(yǔ)這些正、負離子相碰撞而荷電,荷電後的塵(霧(wù))粒子由於受到高壓靜電場庫侖力的作用,向陽(yáng)極運動;到達陽極(jí)後,將其所帶的電(diàn)荷釋放掉,塵(霧)粒子就被陽極所收集,收集粉塵形成水膜,靠重力或衝(chōng)洗自上流至下部積液槽或者吸收塔,而與煙氣分離。達(dá)標後的煙氣經(jīng)風機管(guǎn)道煙囪排放。
———————————————◆半導體廢氣處理 相關(guān)案例◆
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